真空泵是用各种方法在某一封闭空间中发作、改进和坚持真空的设备。真空泵可以定义为：运用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。跟着真空运用的开展，真空泵的种类已开展了许多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。按真空泵的作业原理，真空泵底子上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。跟着真空运用技能在出产和科学研究领域中对其运用压强规划的恳求越来越宽，大多需要由几种真空泵构成真空抽气体系一起抽气后才干满意出产和科学研究进程的恳求，为了运用便利和各种真空技能进程的需要，有时将各种真空泵按其功能恳求组合起来，以机组型式运用。
各种真空泵的作业原理
1、水环式真空泵/液环真空泵作业原理
水环真空泵（简称水环泵）是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为2000~4000Pa，串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作紧缩机，称为水环式紧缩机，是归于低压的紧缩机，其压力规划为1~2×105Pa表压力。
水环泵初步用作自吸水泵，然后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医药及食物等许多工业部门。在工业出产的许多技能进程中，如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等，水环泵得到广泛的运用。由于真空运用技能的飞跃开展，水环泵在粗真空获得方面一向被我们所重视。由于水环泵中气体紧缩是等温的，故可抽除易燃、易爆的气体，此外还可抽除含尘、含水的气体，因此，水环泵运用日益增多。
在泵体中装有恰当的水作为作业液，当叶轮按图中顺时针方向旋转时，水被叶轮抛向附近，由于离心力的作用，水构成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部本分表面刚好与叶轮轮毂相切，水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触（实践上叶片在水环内有必定的刺进深度）。此时叶轮轮毂与水环之间构成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分红和叶片数目相等的若干个小腔。假设以叶轮的下部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口阻隔；当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被紧缩；当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。
综上所述，水环泵是靠泵腔容积的改变来完结吸气、紧缩和排气的，因此它归于变容式真空泵。
2、罗茨泵的作业原理
罗茨泵在泵腔内，有二个“8”字形的转子彼此垂直地设备在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮股动作相互反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，坚持有必定的空地，可以完结高转速作业。由于罗茨泵是一种无内紧缩的真空泵，一般紧缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制作精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了进步泵的极限真空度，可将罗茨泵串联运用。
罗茨泵的作业原理与罗茨鼓风机类似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭情况，所以，在泵腔内气体没有紧缩和胀大。
但当转子顶部转过排气口边际，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续翻滚时，气体排出泵外。
3、 旋片式真空泵作业原理
旋片式真空泵（简称旋片泵）是一种油封式机械真空泵。其作业压强规划为101325~1.33×10-2（Pa）归于低真空泵。它可以独自运用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地运用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等出产和科研部门。
旋片泵可以抽除密封容器中的单调气体，若附有气镇设备，还可以抽除必定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及富含颗粒尘土的气体。
旋片泵是真空技能中最底子的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构大将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度。
旋片泵的抽速与进口压强的联络规矩如下：在进口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）下，其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。
旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等构成。在旋片泵的腔内偏疼肠设备一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的空地），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁坚持接触，转子旋转股动旋片沿泵腔内壁滑动。
两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分，当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积是逐渐增大的，正处于吸气进程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐减小的，正处于排气进程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的，正处于紧缩进程。由于空间A的容积是逐渐增大（即胀大），气体压强下降，泵的进口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。当空间A与吸气口阻隔时，即转至空间B的方位，气体初步被紧缩，容积逐渐减小，最终与排气口相通。当被紧缩气体逾越排气压强时，排气阀被紧缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续作业，到达连续抽气的意图。假设排出的气体通过气道而转入另一级（低真空级），由低真空级抽走，再经低真空级紧缩后排至大气中，即构成了双级泵。这时总的紧缩比由两级来背负，因此进步了极限真空度。
4、滑阀式真空泵
滑阀式油封机械泵（简称滑阀泵）同旋片泵相同，也是一种变容式气体传输泵。其和规划和运用条件与旋片泵底子相同。
滑阀泵由于其结构特色，容量比旋片泵大得多，因此常常被用在大型真空设备上。滑阀泵有单级和双级两种型式。单级泵的极限压力对小泵≤0.6Pa，对大泵≤1.3Pa（均关气镇），双级泵的极限压力≤0.06Pa（关气镇）。抽速大于150L/s的滑阀泵多选用单级型式。
由于滑阀泵的旋转质量有较大的偏疼，假设滑极好的质量平衡，在作业时会发作较大的振动。但泵旋转质心的运动轨迹是形状杂乱的封闭曲线，因此很难完结对滑阀泵惯性力的完全平衡。做好滑阀的质量平衡，减少泵的振动一向是滑阀泵需要处理的一个主要课题。
5、爪式真空泵
爪形转子干式机械真空泵（又简称爪式泵）在泵壳内具有两个共轭啮合的爪形转子。与罗茨真空泵类似，转子由一对同步高精度齿轮来股动旋转并固定相位。转子型线由六段摆线和圆弧构成，转子之间及转子与泵壳之间并不接触，留有细微的空地。气体的进气口和排气口均设在泵壳的端面上，分别由两个转子端面周期性的守时开闭，具有阀的调理作用。
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爪形转子干式机械真空泵的整机型式分为立式和卧式两种。卧式结构以英国爱德华公司开发的一级罗茨转子加上三级爪形转子的 DP80 型机械真空泵为代表。罗茨转子为高真空吸气级，爪形转子为紧缩排气级，这么安排可以在低进口压力下得到大抽气速率。其极限压力可达 1Pa 以下。
这种结构的泵特色是整机重心低，各级转子与隔板之间的空地易于调整。为了在低压下获得较大抽速，泵的罗茨吸气级要做得比爪形排气级大 50 ％。为了避免泵在粗抽期间发作组间“过压”，在罗茨及基地爪型级之间设有较大的传输空间作为压力缓冲空间。其他还可以设备级间过压安全阀以确保作业可靠。为了有助于抽除水蒸汽，在泵的排气级设置了气镇阀。泵的传动型式与罗茨真空泵相同。
